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真空镀膜的简介
2020-07-25
在真空中制备膜层,包括镀制晶志的金属半导体绝像体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等直空手段,但般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜溅射镀膜和离子镀。真空镀膜技术初现于20世纪30年
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